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多工位真空鍍膜及封接檢測設備
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多工位真空鍍膜及封接檢測設備

設備可完成光電倍增管高溫真空除氣、陰極激活、陰極轉移、MCP清刷、銦封等多道關鍵制備工序,是多種運動方式同時存在的復雜系統(tǒng)。主要應用于中微子探測試驗、高能物理探測和單光子探測領域。
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  設備可完成光電倍增管高溫真空除氣、陰極激活、陰極轉移、MCP清刷、銦封等多道關鍵制備工序,是多種運動方式同時存在的復雜系統(tǒng)。主要應用于中微子探測試驗、高能物理探測和單光子探測領域。

  技術性能:

  1、 極限真空:5x10-6Pa,工作真空:5x10-5Pa;

  2、 除氣加熱溫度:400℃,溫度均勻性:±2.5℃;

  3、 陰極組件垂直運動速度:0-500mm/min,重復定位精度:±1.5mm;

  4、 MCP組件垂直運動速度:0-500mm/min,重復定位精度:±1.5mm;

  5、 電子槍組件平移運動速度:0-500mm/min,重復定位精度:±1.5mm;

  6、 玻殼旋轉速度0-3rpm,定位精度0.02°;

  7、 銦封頂升力0-100N。

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