主要用于激光陀螺諧振腔的真空處理，是無(wú)油、雙真空系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)陀螺諧振腔內(nèi)真空獲得、烘烤除氣、氣體充入、氣密性檢測(cè)等制備工藝手動(dòng)或自動(dòng)化控制，具有排氣速度快，極限真空度高等特點(diǎn)。設(shè)備廣泛應(yīng)用于航空、航天、兵器等軍工業(yè)及民用領(lǐng)域。

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　　設(shè)備特點(diǎn)

　　主要用于激光陀螺諧振腔的真空處理，是無(wú)油、雙真空系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)陀螺諧振腔內(nèi)真空獲得、烘烤除氣、氣體充入、氣密性檢測(cè)等制備工藝手動(dòng)或自動(dòng)化控制，具有排氣速度快，極限真空度高等特點(diǎn)。設(shè)備廣泛應(yīng)用于航空、航天、兵器等軍工業(yè)及民用領(lǐng)域。

　　技術(shù)性能

　　1．系統(tǒng)極限真空度（含充氣部分）：2×10^-7Pa；

　　2．鐘罩極限真空度：5×10^-4Pa；

　　3．鐘罩最高烘烤溫度：室溫到400℃可控可調(diào)；

　　4．充氣量精確控制；

　　5．在線氣體組分分析；

　　6．工件個(gè)數(shù)：8/16工位可選。

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