1、真空系統(tǒng)極限真空度：5×10-8Pa(至少帶4個(gè)采樣氣瓶)　　2、真空系統(tǒng)漏率：5×10-10Pa.m3/S，乙方提供氦質(zhì)譜檢漏儀檢測(cè)　　3、真空系統(tǒng)要求為完全無(wú)油，達(dá)到極限真空后四極質(zhì)譜掃描應(yīng)無(wú)質(zhì)量數(shù)大于44的譜峰。

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參數(shù)

　　1、真空系統(tǒng)極限真空度：5×10^-8Pa(至少帶4個(gè)采樣氣瓶)

　　2、真空系統(tǒng)漏率：5×10^-10 Pa.m³/S，乙方提供氦質(zhì)譜檢漏儀檢測(cè)

　　3、真空系統(tǒng)要求為完全無(wú)油，達(dá)到極限真空后四極質(zhì)譜掃描應(yīng)無(wú)質(zhì)量數(shù)大于44的譜峰

　　4、真空系統(tǒng)(含四極質(zhì)譜儀)耐300℃烘烤，采樣氣瓶耐400℃烘烤，控溫精度：±5℃

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